Lastria, Irna Nova (2016) Studi Pembuatan Pola Pada Kuarsa Qcm (Quartz Crystal Microbalance) Dengan Teknik Wet Etching. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.
Abstract
Etsa adalah proses pengikisan permukaan dengan secara kimia untuk membentuk pola pada permukaan material. Pada penelitian ini, teknik etsa (wet etching) digunakan untuk membentuk pola di atas permukaan Kristal kuarsa (SiO2). Untuk proses etsa ini digunakan masking dari AuPd yang dideposisi dengan teknik sputtering. Proses etsa dilakukan dengan menggunakan larutan potassium hidroksida (KOH) dan larutan hydrogen peroksida (HF) dengan variasi konsentrasi sebesar 25%, 30%, dan 35%. Untuk melihat Permukaan yang dietsa dan laju etsa diobservasi dengan menggunakan white profilometer TMS 1200μlab. Hasil pengukuran laju etsa diperoleh untuk larutan KOH sebesar 0,11 μm/jam dan larutan HF sebesar 0,25 μm/jam untuk masing-masing konsentrasi 35%. Sedangkan pembentukan profil pada permukaan kristal kuarsa yang paling baik diperoleh pada larutan KOH dengan konsentrasi sebesar 30%.
English Abstract
Etching is the process of removal material by chemicals process to create patterned holes on the surfaces. In this study, the wet etching process was used to create pattern formation on SiO2 quartz crystal. For the etching process, an AuPd mas was used to cover the un-etched surfaces. The AuPd mask was deposited by sputtering technique. The etching process was carried out using Hydrogen fluoride (HF) and potassium hydroxide (KOH) solution with varying of each concentration are 25%, 30% and 35% at temperature of 80C for two hours. The etched surfaces were observed by using white profilometer TMS 1200. The results showed that maximum of the etching rate was 0.11 μm/hour with 35% KOH. On the other hand, the maximum etching rate using HF solution was 0.25 μm/hour. The best anisotropic pattern formation was found in 30% wt KOH solution with homogeneity etched surface.
Other obstract
-
| Item Type: | Thesis (Sarjana) |
|---|---|
| Identification Number: | SKR/MIPA/2016/327/051610489 |
| Subjects: | 500 Natural sciences and mathematics > 530 Physics |
| Divisions: | Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika |
| Depositing User: | Kustati |
| Date Deposited: | 26 Oct 2016 10:25 |
| Last Modified: | 20 Mar 2022 13:24 |
| URI: | http://repository.ub.ac.id/id/eprint/154850 |
Preview |
Text
Irna Nova Lastria.pdf Download (3MB) | Preview |
Actions (login required)
 |
View Item |