Studi Pembangkitan Plasma Nitrogen Dengan Metode Capacitively Coupled Discharge Menggunakan Sumber Daya Dc/Ac Power Inverter 100v Ac Pada Frekuensi Orde Khz

Khusnah, NikeFitayatul (2013) Studi Pembangkitan Plasma Nitrogen Dengan Metode Capacitively Coupled Discharge Menggunakan Sumber Daya Dc/Ac Power Inverter 100v Ac Pada Frekuensi Orde Khz. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Dalam Fisika dan Teknik, kata plasma menunjukkan gas terionisasi sebagian maupun seluruhnya yang bersifat konduktif dan terdiri dari ion positif, ion negatif, elektron, radikal bebas, serta partikel netral. Perkembangan aplikasi plasma cukup pesat dikarenakan kemudahan modifikasi parameter pembangkitan plasma seperti gas kerja, konfigurasi elektroda, tekanan sistem, dan medan elektromagnetik. Konfigurasi elektroda yang umum digunakan adalah Capacitively Coupled Discharge (CCD), yakni sistem yang mana plasma dibangkitkan dengan cara menginjeksi gas bertekanan rendah yang mengalir di antara elektroda menggunakan medan listrik yang umumnya berfrekuensi radio yakni pada 13,56 MHz. Sistem vakum yang dimiliki oleh jurusan Fisika FMIPA UB, dimanfaatkan oleh kelompok penelitian Green_Plasma sebagai sistem pembangkit plasma. Sistem yang telah dibangun terdiri atas sistem vakum, power supply berupa DC/AC power inverter dalam orde kHz, transformator matching impedance jenis step-up, elektroda terbuat dari stainless steel, gas kerja nitrogen, dan flowmeter gas hidrogen dengan konversi Q_(N_2 )=0,267 Q_(H_2 ). Pengujian dengan berbagai konfigurasi menunjukkan bahwa plasma tidak dapat terbentuk. Dari hasil analisis diketahui, tegangan keluaran DC/AC power inverter ditambah trafo matching impedance mampu melebihi tegangan minimum breakdown gas nitrogen dan tekanan sistem membuat plasma tidak dapat terbentuk.

Item Type: Thesis (Sarjana)
Identification Number: SKR/MIPA/2012/241/051203148
Subjects: 500 Natural sciences and mathematics > 530 Physics
Divisions: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
Depositing User: Hasbi
Date Deposited: 08 Jan 2013 10:16
Last Modified: 23 Oct 2021 13:19
URI: http://repository.ub.ac.id/id/eprint/153078
[thumbnail of SKRIPSI_PLASMA.pdf]
Preview
Text
SKRIPSI_PLASMA.pdf

Download (11MB) | Preview

Actions (login required)

View Item View Item