Fungsionalisasi Mems Accelerometer Sebagai Sensor Seismik

Nur’aidha, Amalia Cemara and Dr. Eng. Didik R. Santoso,, M.Si and Sukir Maryanto,, Ph.D (2018) Fungsionalisasi Mems Accelerometer Sebagai Sensor Seismik. Magister thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Sensor getaran merupakan komponen penting dalam bidang seismologi, seperti pemantauan bencana alam dan eksplorasi sumber daya alam. Saat ini sensor getaran yang sering digunakan adalah sensor Geofon berbasis elektromagnetik. Namun sensor tersebut memiliki beberapa kelemahan yaitu, memiliki ukuran yang besar, harga yang cukup mahal serta terdapat kesulitan dalam proses perawatan. Berdasarkan kelemahan tersebut saat ini muncul teknologi alternatif dalam pengembangan sensor getaran yaitu, sensor MEMS Accelerometer yang bekerja berdasarkan prinsip kapasitansi. MEMS memiliki beberapa kelebihan sebagai sensor getaran, yaitu berbentuk chip IC dengan ukuran yang sangat kecil, memiliki sensitivitas 800mV/g@1.5g, dan memiliki tiga komponen kerja (x, y, dan z). Pada penelitian ini telah dikembangkan sensor MEMS Accelerometer tipe MMA7361L sebagai sensor seismik berbasis percepatan dan kecepatan. Untuk pengembangan sensor MEMS sebagai kecepatan diperlukan modifikasi menggunakan rangkaian integrator untuk merubah sinyal percepatan menjadi sinyal kecepatan. Berdasarkan hasil penelitian MEMS percepatan dapat merespon getaran yang memiliki frekuensi tinggi serta amplitudo yang tinggi pula dengan frekuensi diatas 30Hz. Sedangkan untuk MEMS kecepatan cut-off rendah mampu merespon getaran dengan frekuensi dibawah 1Hz.

English Abstract

A vibration (seismic) sensor is an important component in the part of seismology, such as monitoring of natural disaster and exploration of natural resources. Currently, the most commonly used vibration sensor is electromagnetic-based geophone sensor. However, geophone sensors have some disadvantages, that is has a large size, expensive, and difficult repair. Based on geophone weaknesses there are alternative technologies for vibration sensors i.e MEMS Accelerometer. MEMS has some advantages as a vibration sensor, which has a small size (IC Chip), have a sensitivity of 800mV / g@1.5g, and it has three working component (x,y, and z). This research developed seismic sensor using MEMS Accelerometer (based on acceleration and velocity). To develop MEMS velocity requires modification of the circuit using an integrator to change acceleration signal to be velocity signal. Based on the result of research MEMS velocity is used to respond low frequencies below 1Hz while, MEMS acceleration to respond high frequencies above 30Hz.

Item Type:	Thesis (Magister)
Identification Number:	TES/621.3/NUR/f/2018/041808383
Uncontrolled Keywords:	MEMS Accelerometer, Integrator, Seismik,MEMS Accelerometer, Integrator, Seismic
Subjects:	600 Technology (Applied sciences) > 621 Applied physics > 621.3 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting
Divisions:	S2/S3 > Magister Fisika, Fakultas MIPA
Depositing User:	soegeng sugeng
Date Deposited:	15 Aug 2022 07:07
Last Modified:	15 Aug 2022 07:07
URI:	http://repository.ub.ac.id/id/eprint/193230

Text AMALIA CEMARA NUR’AIDHA.pdf Download (18MB)

Actions (login required)

View Item