Pengaruh Variasi Kecepatan Putar Spin Coating Dan Konsentrasi Larutan Terhadap Distribusi Kehomogenan Morfologi Permukaan Tio2 Di Atas Qcm

Wongkalanujaya, Janssen (2020) Pengaruh Variasi Kecepatan Putar Spin Coating Dan Konsentrasi Larutan Terhadap Distribusi Kehomogenan Morfologi Permukaan Tio2 Di Atas Qcm. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Hasil studi literatur bahwa kehomogenan lapisan yang terdeposisi di atas QCM dapat meningkatkan kemampuan QCM sebagai sensor gas. Distribusi kehomogenan lapisan TiO2 di atas QCM dapat mengindikasikan efektifitas dan selektivitas sensor. Dalam studi literatur ini menggunakan sol-gel TiO2 yang dideposisi dengan teknik spin coating. Konsentrasi larutan TiO2 nanopartikel juga divariasikan. Ketebalan lapisan yang terdeposisi berpengaruh terhadap sensitivitas sensor QCM. Variasi kecepatan putar spin coating mulai 1000 rpm dan tertinggi pada 6000 rpm dengan konsentrasi larutan 0,1 M; 0,2 M; 0,3 M; dan 0,4 M untuk menghasilkan permukaan yang homogen. Kehomogenan lapisan terhadap ukuran partikel, komposisi, dan ketebalan diliat dari morfologi permukaan dengan AFM dan SEM. Serta dilakukan pengujian pendukung dengan XRD untuk mengetahui struktur kristal dan elipsometri untuk mengetahui ketebalan. Hasil studi literatur menunjukkan bahwa permukaan QCM dengan kecepatan 3000 rpm sudah memperoleh lapisan yang homogen merata di atas permukaan QCM dengan konsentrasi 0,3 M. Ketebalan lapisan yang didapatkan 64 nm. Konsentrasi larutan yang lebih tinggi membuat terjadinya retakan pada permukaan.

English Abstract

Based on literature study on homogeneous film that deposited on QCM could increase the ability of QCM as gas sensor. Homogeneous distribution of TiO2 film on QCM could indicate sensor effectiveness and selectivity. On this literature study used TiO2 sol-gel that deposited by spin coating technique. Solution concentration of TiO2 nanoparticle also be varied. Thickness of film deposited affect to QCM sensor sensitivity. Speed variation of spin coating start from 1000 rpm to the highest 6000 rpm with the solution concentration of 0,1 M; 0,2 M; 0,3 M and 0,4 M to create homogeneous surface. Homogeneous film by particle size, composition, and thickness can be seen from surface morphology by AFM and SEM. Other testing is conducted to support such as XRD knowing the crystal structure and ellipsometry knowing thickness. Result of literature study shows spin speed at 3000 rpm could achieved homogeneous film equally on QCM surface at 0,3 M concentration. Thickness of film at 64 nm. The higher solution concentration risk to make crack on the surface.

Other obstract

-

Item Type:	Thesis (Sarjana)
Identification Number:	0520090094
Uncontrolled Keywords:	TiO2, QCM, Permukaan, Kecepatan Putar, Konsentrasi
Subjects:	500 Natural sciences and mathematics > 530 Physics > 530.4 States of matter > 530.42 Liquid-state physics > 530.427 5 Thin films
Divisions:	Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
Depositing User:	ismanto
Date Deposited:	05 Feb 2021 15:07
Last Modified:	20 Sep 2024 07:44
URI:	http://repository.ub.ac.id/id/eprint/182513

Text Janssen Wongkalanujaya.pdf Download (4MB)

Actions (login required)

View Item