Al-Bari, Akhmad (2018) Pengaruh Konsentrasi PEG-600, Kecepatan Putar Dan Suhu Anil Terhadap Lapisan Tipis Timbal Zirkonat Titanat. Magister thesis, Universitas Brawijaya.
Abstract
Keramik Pb(ZrxTi1-x)O3 atau disebut PZT telah luas pemanfaatannya dalam dunia elektronika yang dibuat sebagai lapisan tipis. Metode sintesis sol-gel telah banyak digunakan untuk pembuatan lapis tipis PZT. Sol hasil sintesis harus tahan terhadap hidrolisis oleh keberadaan molekul air agar tidak terjadi presipitasi dalam hasil solnya yang menyebabkan mol menjadi tidak stoikiometri. PEG-600 adalah salah satu senyawa penstabil sol terhadap reaksi hidrolisis. Tujuan penelitian ini adalah untuk mengetahui efek penambahan PEG-600 terhadap sol PZT yang dihasilkan dan pengaruhnya terhadap lapisan. Perlakuan penambahan kecepatan putar dan suhu anil dilakukan untuk mengetahui efek teknik terhadap ukuran kristal dan homogenitas lapisan tipis. Penelitian ini menggunakan variasi penambahan PEG-600 dalam perbandingan asam asetat:PEG-600 = 1:5, 2:4, 3:3, 4:2, 5:5 yang dilapiskan pada substrat silikon dengan variasi kecepatan putar 1500 dan 2500 rpm serta variasi suhu anil 650 dan 700°C. Hasil sintesis menunjukkan sol terbaik terdapat pada rasio 1:5, 2:4, 3:3 dan 4:2 yang tanpa ditemukan presipitasi. Hasil pelapisan pada substrat ditemukan lapisan yang homogen pada variasi 2:4 dan 3:3 yang teramati dengan hkl (101), (201), (210) dan (002). Penambahan kecepatan putar dan suhu anil pada lapisan tipis PZT menyebabkan ukuran kristal meningkat dengan hasil lapisan yang merata dan terlihat semakin membentuk penggabungan butiran kristal (coalescence) pada rasio 2:4 dan 3:3.
English Abstract
Pb(ZrxTi1-x)O3 ceramic or called PZT has used broadly application in electronics as thin layers. Sol-gel synthesis method has been usually used to manufacture PZT thin layers. The synthesized sols must be resistant to hydrolysis by the presence of water molecules to prevent precipitation in sol that causes being not stoichiometric in molarity. PEG-600 is compound being a stabilizing agent for hydrolysis reactions. The purpose of this study was to determine the effect of increasing PEG-600 to the PZT sol and their effect on the film coating. The treatment of additional spin speed and the annealing temperature was carried out to determine the effect of the technique on the crystallinity size and homogeneity of the thin layer. This study used PEG-600 in the ratio sol of acetic acid:PEG-600 = 1:5, 2:4, 3:3, 4:2, 5:5 coated on a silicon substrate with a rotational speed of 1500 and 2500 rpm and Annealing temperature variations 650 and 700°C. The synthesis results show that the best soles are found at a ratio of 1:5, 2:4, 3:3 and 4:2 without any precipitation. The coating results on the substrate were found to be homogeneous in variations 2:4 and 3:3 which were observed with hkl (101), (201), (210) and (002). The addition of spin speed and annealing temperature to the PZT thin layer causes increasing the crystal size with a uniform layer that visible layer results in the formation of more neck crystalline grain (coalescence) at a ratio of 2:4 and 3:3.
| Item Type: | Thesis (Magister) |
|---|---|
| Identification Number: | TES/666.7/ALB/p/2018/041808827 |
| Uncontrolled Keywords: | LEAD ZIRCONATE TITANATE, POLYETHYLENE GLYCOL |
| Subjects: | 600 Technology (Applied sciences) > 666 Ceramic and allied technologies > 666.7 Refractories and structural clay products |
| Divisions: | S2/S3 > Magister Kimia, Fakultas MIPA |
| Depositing User: | Budi Wahyono Wahyono |
| Date Deposited: | 20 Dec 2019 01:48 |
| Last Modified: | 21 Oct 2021 01:36 |
| URI: | http://repository.ub.ac.id/id/eprint/177202 |
Preview |
Text
9. Lampiran (2).pdf Download (2MB) | Preview |
Preview |
Text
Akhmad Al-Bari (2).pdf Download (4MB) | Preview |
Actions (login required)
 |
View Item |