Pengaruh Tegangan Rf (Radio Frequency) Pada Plasma Oksigen Terhadap Jenis Spesies Plasma Dan Sifat Hidrofobisitas Permukaan Polistirena Menggunakan Optical Emission Spectroscopy (Oes)

Abdillah M, M. Adib (2018) Pengaruh Tegangan Rf (Radio Frequency) Pada Plasma Oksigen Terhadap Jenis Spesies Plasma Dan Sifat Hidrofobisitas Permukaan Polistirena Menggunakan Optical Emission Spectroscopy (Oes). Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Telah dilakukan penelitian tentang perlakuan plasma oksigen pada permukaan polistirena di atas Quartz Crystal Microbalance (QCM). Lapisan polistirena dideposisi dengan metode spin coating dengan menggunakan pelarut toluena. Perlakuan plasma oksigen dibangkitkan pada tegangan RF yang divariasi pada 60 V, 70 V, 80 V, 90 V, dan 100 V, dan parameter lain dibuat tetap pada tekanan 40 Pa dan laju alir gas 40 ml/menit. Tujuan dari penelitian ini untuk mengetahui spesies plasma yang berperanan pada proses perubahan sifat hidrofobisitas permukaan polistirena serta hubungan parameter plasma temperatur dan densitas elektron. Sifat hidrofobisitas permukaan ditentukan dengan mengukur sudut kontak menggunakan contact angle measurement. Plasma oksigen dikarakterisasi menggunakan Optical Emission Spectroscopy (OES) untuk menentukan parameter plasma. Hasil spektrum OES ditentukan dengan database NIST dan temperatur elektron dengan menggunakan grafik Boltzmann dan densitas elektron menggunakan pelebaran Stark. Spesies plasma dominan yang terdeteksi merupakan spesies OI (oksigen atom) pada panjang gelombang 774 nm dan 841 nm. Intensitas plasma oksigen mengalami kenaikan sebanding dengan meningkatnya tegangan RF. Hasil pengukuran sudut kontak menunjukkan permukaan polistirena setelah di lakukan perlakukan plasma menunjukkan penurunan sudut kontak yang menunjukkan permukaan berubah menjadi hidrofilik. Temperatur elektron dan densitas elektron mengalami kenaikan sebanding dengan meningkatnya tegangan RF.

English Abstract

Research about oxygen plasma treatment on polystyrene thin film deposited Quartz Crystal Microbalance was investigated. Polystyrene thin film deposited by spin coating method with toluene solvent. Oxygen plasma treatment generated with variation radio frequency voltage 60 V, 70 V, 80 V, 90 V, and 100 V, and other parameters were constant with pressure 40 Pa, and gas flow rate 40 ml/min. The point of this research to know plasma species contribution in hidrophobicity changing of polystyrene surface and correlation of plasma parameter electron temperature and electron density. Surface hidrophobicity measured by contact angle measurement. Characterization of oxygen plasma using Optical Emission Spectroscopy (OES) to determine plasma parameter. The result of spectral lines was determined by using National Institute of Standard and Technology (NIST) database, electron temperature was determined and calculated by Boltzmann equation, and electron density by using Stark Broadening. The dominan plasma species detected was OI which is oxygen neutral atom in lines 774 nm and 841 nm. The increasing radio frequency voltage increases oxygen emission intensity. Measurement of contact angle shows that polystyrene surface contact angle decreased after treated by oxygen plasma which is surface changing to hydrophilic surface. Electron temperature and electron density also increase with increasing RF voltage.

Other obstract

-

Item Type: Thesis (Sarjana)
Identification Number: SKR/MIPA/2018/204/051805818
Uncontrolled Keywords: Plasma oksigen, spesies plasma, parameter plasma, oxygen plasma, plasma species, plasma parameter
Subjects: 500 Natural sciences and mathematics > 530 Physics > 530.4 States of matter > 530.44 Plasma physics
Divisions: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
Depositing User: Nur Cholis
Date Deposited: 09 Jun 2020 03:39
Last Modified: 22 Oct 2021 07:04
URI: http://repository.ub.ac.id/id/eprint/168677
[thumbnail of M. ADIB ABDILLAH M..pdf]
Preview
Text
M. ADIB ABDILLAH M..pdf

Download (1MB) | Preview

Actions (login required)

View Item View Item