Kurniawan, Sigit (2015) Desain Alat Ukur Dan Karakterisasi Plasma Berdasarkan Impedansi Listrik Dengan Variasi Tekanan. Magister thesis, Universitas Brawijaya.
Abstract
Telah dilakukan perancangan alat ukur, pengukuran dan karakterisasi impedansi plasma dari sistem plasma yang berkerja pada frekuensi 40 kHz dan kondisi tekanan tinggi. Tujuan dari penelitian ini adalah mengetahui karakter kelistrikan dari plasma berdasarkan pengukuran impedansi listrik dengan variasi tekanan. Pengukuran impedansi dilakukan dengan mengukur besarnya nilai tegangan dan arus plasma serta beda fase antara tegangan dan arus. Nilai variasi tekanan yang diberikan sebesar 400 mTorr, 800 mTorr, 1,6 Torr dan 4,7 Torr. Hasil penelitian menunjukkan bahwa alat ukur yang dirancang dapat digunakan untuk menentukan besarnya impedansi dari plasma dengan nilai presisi pengukuran 7%. Hasil pengukuran impedansi menunjukkan bahwa kenaikan tekanan menyebabkan kenaikan impedansi total dari plasma. Sedangkan untuk menentukan beda fase dibutuhkan algoritma lebih lanjut untuk mendapatkan pendekatan yang lebih akurat. Melalui pendekatan fisis dan data hasil pengukuran, model rangkaian ekuivalen dari impedansi plasma dapat diturunkan dari model yang telah ada sesuai dengan perubahan impedansi, karakter dari beda fase yang terukur dan perubahan kondisi sheath plasma akibat kenaikan tekanan.
| Item Type: | Thesis (Magister) |
|---|---|
| Identification Number: | TES/621.044/KUR/d/2015/041507904 |
| Subjects: | 600 Technology (Applied sciences) > 621 Applied physics |
| Divisions: | S2/S3 > Magister Matematika, Fakultas MIPA |
| Depositing User: | Endang Susworini |
| Date Deposited: | 13 Nov 2015 11:21 |
| Last Modified: | 13 Nov 2015 11:21 |
| URI: | http://repository.ub.ac.id/id/eprint/158613 |
Actions (login required)
 |
View Item |