Pengaruh Temperatur Anil Pada Lapisan Tipis Bzt (Bazrxti1-Xo3) Dengan Metode Spin Coating Di Atas Substrat Silikon

Hartadiansyah, MauliaArdinatu (2016) Pengaruh Temperatur Anil Pada Lapisan Tipis Bzt (Bazrxti1-Xo3) Dengan Metode Spin Coating Di Atas Substrat Silikon. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Telah dilakukan penelitian tentang pengaruh suhu anil terhadap penumbuhan lapisan tipis BZT di atas substrat silikon. Proses pembuatan prekursor BZT dilakukan dengan metode sol-gel dan penumbuhan lapisan tipis BZT dengan metode spin coating. Proses anil lapisan tipis BZT dilakukan pada suhu 1000ºC, 1100ºC, dan 1200ºC selama dua jam. Karakterisasi struktur lapisan tipis BZT dilakukan dengan menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) tipe difraktometer Xpert MPD pada 2θ 10º-120º dengan λkα sebesar 1,540598 Å. Hasil XRD menunjukkan bahwa suhu anil mempengaruhi penumbuhan kristal lapisan tipis BZT, dengan bertambahnya suhu anil maka ukuran butir kristal lapisan tipis BZT semakin kecil. Suhu anil 1200ºC menghasilkan struktur kristal terbaik, yaitu pada orientasi bidang kristal (001), (011), (122), dan (024).

English Abstract

The effects of annealing temperature on the crystal growth of BZT thin films have been investigated on wafer silicon. BZT precursors were synthesized by sol-gel method and subsequently deposited by spin coating method. Then BZT thin film was annealed at temperature of 1000ºC, 1100ºC, and 1200ºC for 2 h. The crystal structure was observed by X-Ray Diffraction (XRD) Xpert MPD diffractometer type at 2θ of 10º-120º with λkα 1,540598 Å. The XRD results indicate that the annealing temperature influences the crystal growth of the BZT thin film, with the increasing annealing temperature, then the crystal grain size of BZT thin film is getting smaller. Annealing temperature at 1200ºC produce the best of crystal structures, namely the crystal orientation (001), (011), (122) and (024).

Item Type:	Thesis (Sarjana)
Identification Number:	SKR/MIPA/2016/424/051610361
Subjects:	500 Natural sciences and mathematics > 530 Physics
Divisions:	Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
Depositing User:	Kustati
Date Deposited:	10 Nov 2016 13:20
Last Modified:	10 Nov 2016 13:20
URI:	http://repository.ub.ac.id/id/eprint/154958

Full text not available from this repository.

Actions (login required)

View Item