Studi Pengaruh Ketebalan Lapisan Tipis Terhadap Struktur Kristal Lead Zirconate Titanate (PZT) yang Dideposisi dengan Metode Spin Coating

Muhlis (2013) Studi Pengaruh Ketebalan Lapisan Tipis Terhadap Struktur Kristal Lead Zirconate Titanate (PZT) yang Dideposisi dengan Metode Spin Coating. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Telah dilakukan studi pengaruh ketebalan lapisan tipis pada struktur kristal PZT. Lapisan tipis PZT dibuat dengan tehnik sol-gel serta ditumbuhkan di atas substrat silikon dengan metode penumbuhan spin coating. Penggunaan tehnik sol-gel dan metode spin coating diharapkan mampu menghasilkan lapisan tipis yang tingkat homogenitasnya tinggi. Struktur lapisan tipis dipelajari dengan menggunakan XRD dan SEM. Hasil XRD menunjukkan bahwa lapisan perovskit PZT dengan orientasi bidang kristal (100), (101), (111), (200), (102), (112) dan (022) mengindikasikan kristal dalam bentuk polikristal. Orientasi bidang kristal yang dihasilkan mengalami peningkatan intensitas yang sebanding dengan bertambahnya ketebalan ataupun jumlah volume larutan yang diberikan. Peningkatan ketebalan juga berpengaruh terhadap peningkatan ukuran grain yang dihasilkan terutama ukuran grain pada bidang kristal (100) dan (101).

Item Type:	Thesis (Sarjana)
Identification Number:	SKR/MIPA/2013/79/051301247
Subjects:	500 Natural sciences and mathematics > 530 Physics
Divisions:	Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
Depositing User:	Hasbi
Date Deposited:	28 May 2013 09:56
Last Modified:	25 Oct 2021 03:09
URI:	http://repository.ub.ac.id/id/eprint/153699

	Text Lengkap.pdf Download (5MB)
	Other (Thumbnails conversion from text to thumbnail_lightbox) lightbox.jpg Download (29kB)
	Other (Thumbnails conversion from text to thumbnail_preview) preview.jpg Download (13kB)
	Other (Thumbnails conversion from text to thumbnail_medium) medium.jpg Download (4kB)
	Other (Thumbnails conversion from text to thumbnail_small) small.jpg Download (1kB)

Actions (login required)

View Item