Rancang Bangun Shutter Otomatis pada Thermal Evaporation menggunakan Hard Disk Drive Voice Coil Actuator dengan Driver H-Bridge IC L298

Ardiansyah, Dimas Dwi Surya (2020) Rancang Bangun Shutter Otomatis pada Thermal Evaporation menggunakan Hard Disk Drive Voice Coil Actuator dengan Driver H-Bridge IC L298. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Evaporator thermal merupakan metode yang banyak digunakan untuk menghasilkan lapisan tipis. Lapisan tipis dipengaruhi oleh laju deposisi subtract dan lama waktu penguapan oleh karena itu perlu ditunjang suatu sistem yang dapat mempermudah dalam pengoperasian pada mesin evaporator salah satunya adalah dengan menggunakan shutter otomatis. Shutter yang berfungsi sebagai alat sekunder dalam sistem pendeposisian lapisan tipis cukup penting untuk menentukan tebal lapisan tipis yang terbentuk agar pendeposisian uap ke subtract kaca tepat pada saat bahan harus diuapkan menuju subtract.. sistem manual dari besi ulir seringkali kurang tepat membuka saat bahan siap untuk diuapkan dan menutup saat keadaan vacuum. hal ini dikarenakan sistem shutter manual mengacu pada stopwatch dan pengamat. Oleh karena itu, dibutuhkan sistem shutter otomatis agar meningkatkan keefektifan operasi kerja mesin evaporator thermal sistem PVD serta mengurangi kesalahan human eror dan tebal lapisan terbentuk sesuai yang diharapkan. Shutter otomatis dalam penelitian ini dirancang menggunakan sebuah motor dan beberapa sistem kontrol diantaranya voice coil actuator sebagai shutter, Driver H-Bridge IC L298 sebagai penggerak shutter, arduino, dan beberapa rangkaian simulasi dari sensor pirani gauge dan filament. Hasil penelitian ini menunjukan bahwa Shutter dapat membuka dan menutup otomatis berdasarkan pembacaan tekanan vacuum dan maksimal tegangan filament menguapkan suatu bahan. VCA yang digunakan memiliki jangkauan operasi tegangan yang dapat disesuaikan dengan ADC 10 bit.

English Abstract

Thermal evaporation is a method that is widely used to produce thin layer. A thin layer is affected by deposition rate /subtracted and the length of evaporation. To simplify the operation of evaporator machine, it needs a supported system by using an automatic shutter. A Shutter that serves as a secondary tool in a thin-layer depositing system is important to determine the thickness of the thin-layer that is formed to allow the steam to subtract the glass precisely when the material needs to be set to a subtract. Manual system of iron screw often less precisely open when the material is ready to be turned on and shut down during vacuum conditions. It happens because the manual shutter system refers to the stopwatch and observer. Therefore, it needs an automatic shutter system to increase the effectiveness of the working operation of the PVD system thermal evaporator and reduce human error also to adjust the thickness of the layer as expected. The automatic shutter in this study was designed using a motor and several control systems including voice coil actuator as a shutter, the H-Bridge IC L298 Driver as the shutter drive, Arduino, and several simulation circuits of the pirani gauge sensor and filament. The results of this study showed that Shutter can open and close automatically based on vacuum pressure readings and maximally the filament voltage vaporize a material. The VCA is used to have a voltage operating range that can be adjusted with ADC 10 bits.

Other obstract

-

Item Type:	Thesis (Sarjana)
Identification Number:	0520090050
Uncontrolled Keywords:	Desain Sistem Kontrol Otomatis, Voice Coil Actuator, Driver H-Bridge IC L298, Thermal Evaporation
Subjects:	500 Natural sciences and mathematics > 536 Heat > 536.4 Effects of heat on matter
Divisions:	Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
Depositing User:	ismanto
Date Deposited:	31 Jan 2021 13:05
Last Modified:	27 Sep 2024 01:54
URI:	http://repository.ub.ac.id/id/eprint/182213

Text Dimas Dwi Surya Ardiansyah.pdf Download (1MB)

Actions (login required)

View Item