Modifikasi Lapisan Masking Polistirena Dengan Teknik Laser Pada Quartz Crystal Microbalance

Cesar, Bintang Deska Alfian (2018) Modifikasi Lapisan Masking Polistirena Dengan Teknik Laser Pada Quartz Crystal Microbalance. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Performa Quartz Crystal Microbalance (QCM) sebagai sensor dapat ditingkatkan dengan melakukan modifikasi pada permukaannya dengan cara mengurangi ketebalan QCM. Tujuan dari modifikasi permukaan QCM adalah untuk meningkatkan sensitivitas QCM. Teknik laser adalah salah satu teknik untuk mengurangi ketebalan QCM dengan menggunakan laser CO2. Pada penelitian ini, fungsi laser CO2 dan variasi arus laser terhadap penghilangan masking polistirena akan diteliti. Polistirena digunakan sebagai masking pada permukaan QCM. Elektroda pada QCM dihilangkan dengan menggunakan larutan HNO3. Masking polistirena dideposisikan pada permukaan QCM menggunakan alat spin coater dengan teknik spin coating. Variasi arus laser dapat mempengaruhi nilai kedalaman etsa. Proses teknik laser pada QCM dilakukan dengan menggunakan variasi arus laser sebesar 13,6A; 13,7A; 13,8A; 13,9A; dan 14A dengan kecepatan etsa 10mm/s serta ketebalan garis laser 0,01mm. Permukaan QCM yang ter-etsa diamati menggunakan mikroskop optik dan TMS. Morfologi pada mikroskop optik menunjukkan adanya daerah profil rendah pada daerah yang telah dietsa. Topografi pada TMS menunjukkan adanya nilai kedalaman(z) antara daerah masking dengan daerah etsa. Arus laser yang paling efektif untuk pembentukan pola masking polistirena pada QCM yaitu 14A. Daerah etsa memiliki nilai kekasaran yang lebih besar dibandingkan daerah masking.

English Abstract

The performance of QCM as sensor can be upgraded by surface modification by reducing the QCM thickness. The purpose of surface modification the QCM thickness is the improvement of QCM sensitivity. Laser technique is one of the technique to reducing QCM thickness using CO2 laser. In this experiment, the function of CO2 laser and variations of current on polystirena masking removal was investigated. Polystyrene was used as masking on QCM surface. The electrode on QCM surface was removed using HNO3 solution. The polystyrene mask was deposited on QCM surface using spin coater with spin coating technique. Variations in laser current could affect the depth value of etching. The laser technique process was carried out using variations of current of 13,6A; 13,7A; 13,8A; 13,9A; and 14A with speed etching 10mm/s and the thickness of laser line 0,01mm. The etched area on QCM was observed using optical microscope and TMS. Morphology in optical microscopy show the presence of low profil area in the etched area. Topography of the TMS show the value of the depth(z) between the masking area and the etching area. The most effective laser current to remove the masking layer on QCM was 14 A. The etching area has a greater roughness value compared to the masking area.

Item Type: Thesis (Sarjana)
Identification Number: SKR/MIPA/2018/475/051900404
Uncontrolled Keywords: QCM, Polistirena, Teknik Laser, Masking QCM, Polystyrene, Laser Technique, Masking
Subjects: 600 Technology (Applied sciences) > 621 Applied physics > 621.3 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting > 621.36 Optical engineering > 621.366 Lasers
Divisions: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
Depositing User: Budi Wahyono Wahyono
Date Deposited: 27 Jul 2020 02:46
Last Modified: 18 Oct 2021 06:41
URI: http://repository.ub.ac.id/id/eprint/168778
[thumbnail of Bintang Deska Alfian Cesar (2).pdf]
Preview
Text
Bintang Deska Alfian Cesar (2).pdf

Download (3MB) | Preview

Actions (login required)

View Item View Item