Pengaruh Variasi Tegangan Listrik RF(Radio Frequency) AC Terhadap Nilai Temperatur Dan Densitas Elektron Pada Diagnostik Plasma Nitrogen Menggunakan Spektroskopi Emisi Optik

Wijaya, Moch. Rizky (2018) Pengaruh Variasi Tegangan Listrik RF(Radio Frequency) AC Terhadap Nilai Temperatur Dan Densitas Elektron Pada Diagnostik Plasma Nitrogen Menggunakan Spektroskopi Emisi Optik. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.

Abstract

Perlakuan plasma nitrogen terhadap lapisan tipis polistirena pada kaca telah dilakukan. Lapisan polistirena dideposisi pada kaca dengan metode spin coating. Lapisan polistirena tersebut kemudian diberikan perlakuan plasma nitrogen dengan variasi tegangan listrik RF. Plasma nitrogen dibangkitkan dengan variasi tegangan listrik RF 60,70,80,90, dan 100 Volt. Variabel tetap yaitu tegangan DC 0 Volt, tekanan 40 Pa, laju alir gas nitrogen 40 ml/menit, dan perlakuan plasma selama 2 menit. Spektrum emisi plasma dikarakterisasi dengan Optical Emission Spectroscopy (Aurora 4000) dengan batas panjang gelombang 200 – 1100 nm dalam daerah plasma. Data spektrum emisi plasma kemudian dibandingkan dengan data acuan NIST. Spesies plasma nitrogen yang mendominasi adalah ion N II pada panjang gelombang 385,715 nm. Tegangan listrik RF meningkatkan nilai intensitas spesies plasma. Berdasarkan referensi, spesies plasma N II dengan intensitas tinggi dapat menurunkan hidrofobisitas permukaan lapisan polistirena. Penambahan tegangan RF pada plasma nitrogen menyebabkan bertambahnya temperatur elektron dan densitas elektron.

English Abstract

Research about nitrogen plasma treatment on polystyrene thin film in glass has been investigated. Thin film of polystyrene was deposited on the glass using the spin coating method with xylene solvent. Nitrogen plasma treatment is generated with variation radio frequency AC voltage 60, 70, 80, 90, dan 100 Volt. Fixed variabel is 0 Volt DC voltage, pressure 40 Pa, flow rate of nitrogen gas is 40 ml/minutes, and plasma treatment for 2 minutes. Emission spectrum of nitrogen plasma is characterized by Optical Emission Spectroscopy (OES) Aurora 4000 with wavelength limit of 200 – 1100 nm. Data emission spectrum of plasma is compared with NIST database to identify spesies of plasma nitrogen. Dominant plasma nitrogen species are N II ions at wavelength 385,715 nm. RF voltage increases the intensity value of plasma species. RF voltage also increases electron temperatur and electron density.

Item Type: Thesis (Sarjana)
Identification Number: SKR/MIPA/2018/546/051901797
Uncontrolled Keywords: plasma nitrogen, spektrum emisi, temperatur elektron, densitas elektron nitrogen plasma, emission spectrum, electron temperatur, electron density
Subjects: 500 Natural sciences and mathematics > 530 Physics > 530.4 States of matter > 530.44 Plasma physics
Divisions: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
Depositing User: Budi Wahyono Wahyono
Date Deposited: 07 Jun 2020 09:13
Last Modified: 18 Oct 2021 07:09
URI: http://repository.ub.ac.id/id/eprint/168214
[thumbnail of Moch. Rizky Wijaya (2).pdf]
Preview
Text
Moch. Rizky Wijaya (2).pdf

Download (2MB) | Preview

Actions (login required)

View Item View Item