Setiana, Mira (2017) Studi Pengaruh Variasi Laju Aliran Blue Gaz Dalam Rancang Bangun Sistem Plasma Chemical Vapor Deposition (Cvd) Terhadap Jenis Ikatan Lapisan Hasil Deposisi. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya.
Abstract
Sistem plasma Chemical Vapor Deposition (CVD) telah dirancang untuk deposisi lapisan karbon di atas substrat kaca. Bagian utama dari reaktor plasma CVD ini meliputi tutup reaktor dan konfigurasi elektroda Capacitively Coupled Discharge (CCD). Plama yang dihasilkan dari sistem ini utamanya adalah plasma glow discharge. Deposisi lapisan karbon dilakukan menggunakan campuran gas argon dengan Blue Gaz yang divariasikan (25:9,6) mL/menit, (25:24,1) mL/menit, dan (25:48,2) mL/menit. Karakterisasi lapisan hasil deposisi dilakukan menggunakan spektrum yang dihasilkan FTIR. Jenis ikatan yang teridentifikasi oleh spektrum FTIR adalah ikatan C-H, C-N, C-O, C=O, dan C=C. Intensitas absorbansi ikatan C=C cenderung naik pada perbandingan laju alir gas argon dengan Blue Gaz (25:9,6) mL/menit dan (25:24,1) mL/menit, tetapi cenderung turun pada perbandingan laju alir gas argon dengan Blue Gaz (25:48,2) mL/menit. Sedangkan intensitas absorbansi ikatan C=O cenderung turun seiring bertambahnya laju Blue Gaz yang dialirkan ke dalam chamber.
| Item Type: | Thesis (Sarjana) |
|---|---|
| Identification Number: | SKR/MIPA/2017/139/051701085 |
| Subjects: | 500 Natural sciences and mathematics > 530 Physics |
| Divisions: | Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika |
| Depositing User: | Budi Wahyono Wahyono |
| Date Deposited: | 09 Feb 2017 14:25 |
| Last Modified: | 09 Feb 2017 14:25 |
| URI: | http://repository.ub.ac.id/id/eprint/155180 |
Actions (login required)
 |
View Item |